물리적 기상 증착 코팅 기술
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반도체, 디스플레이 제조공정 중 플라즈마 챔버에 사용되는 부품의 코팅을 통해 수율 및 생산성 향상 실현
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Coating 반도체 제조 설비 부품에 이트리아 등 세라믹 소재를 코팅하여 반도체 제조 공정 중 발생하는 Particle 발생 방지 및 수명을 연장시키는 코팅 기법
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